精密供液与光刻胶点胶系统

从计量泵、液路到动态点胶臂的完整选型思路

点胶系统不能只看“出液量”

光刻胶、PI、BCB、SOG等材料的黏度、化学兼容性和单次供液量不同。选型还需确认静态或动态点胶、液路数量、回吸与清洗方式、材料容器、气泡控制及与旋涂配方的联动。

SAWATEC SM-200动态光刻胶点胶臂实物
动态点胶臂
SM-200支持最多4条介质管路,点胶位置可纳入旋涂工艺程序。
SAWATEC SP-177精密计量泵实物
SP-177计量泵
0.1–12 ml,标称精度±0.1 ml,适用黏度10–800 cps。
SAWATEC SPV-15高黏度精密计量泵实物
SPV-15计量泵
0.1–15 ml,标称精度±0.1 ml,适用黏度10–10,000 cps。

SAWATEC计量泵规格对比

型号供液量标称精度介质黏度范围
SP-1770.1–12 ml±0.1 ml10–800 cps
SPV-150.1–15 ml±0.1 ml10–10,000 cps
SP-500.1–50 ml±0.1 ml10–800 cps
FP-200.1–20 ml±0.1 ml10–800 cps

供液与点胶选型的六项输入

材料与黏度

提供材料名称、工作温度黏度、固含量、溶剂与安全数据,不用材料类别代替实测范围。

单次供液量

给出最小、典型和最大用量以及允许偏差,避免只按最大量选泵。

液路数量

确认光刻胶、溶剂、EBR液或其他介质是否需独立管路及快速切换。

点胶轨迹

圆片、方片、高黏度或厚膜工艺可能需要动态、多点或非中心点胶。

清洗与换液

评估自动针头清洗、管路冲洗、停机时间和交叉污染风险。

设备集成

确认与SM旋涂机、iSPRAY喷涂机或自动化Track的控制和节拍关系。

用真实材料数据确定供液配置

请提供材料黏度曲线、目标供液量、容器与管路要求、点胶轨迹、清洗方式和基板尺寸,以便核对泵型与设备接口。

联系技术团队   查看精密组件参数 →

相关页面