点胶系统不能只看“出液量”
光刻胶、PI、BCB、SOG等材料的黏度、化学兼容性和单次供液量不同。选型还需确认静态或动态点胶、液路数量、回吸与清洗方式、材料容器、气泡控制及与旋涂配方的联动。
SAWATEC计量泵规格对比
| 型号 | 供液量 | 标称精度 | 介质黏度范围 |
|---|---|---|---|
| SP-177 | 0.1–12 ml | ±0.1 ml | 10–800 cps |
| SPV-15 | 0.1–15 ml | ±0.1 ml | 10–10,000 cps |
| SP-50 | 0.1–50 ml | ±0.1 ml | 10–800 cps |
| FP-20 | 0.1–20 ml | ±0.1 ml | 10–800 cps |
供液与点胶选型的六项输入
材料与黏度
提供材料名称、工作温度黏度、固含量、溶剂与安全数据，不用材料类别代替实测范围。
单次供液量
给出最小、典型和最大用量以及允许偏差，避免只按最大量选泵。
液路数量
确认光刻胶、溶剂、EBR液或其他介质是否需独立管路及快速切换。
点胶轨迹
圆片、方片、高黏度或厚膜工艺可能需要动态、多点或非中心点胶。
清洗与换液
评估自动针头清洗、管路冲洗、停机时间和交叉污染风险。
设备集成
确认与SM旋涂机、iSPRAY喷涂机或自动化Track的控制和节拍关系。